真空ポンプ油
高真空を作り出す、高性能の油
「ネオバック」は高真空ポンプ油の代名詞として広く親しまれ、性能への信頼性の高さから多くの真空ポンプメーカ ーより使用油の推奨を受けています。 半導体やシリコンウエハ、蒸着、熱処理、包装などの真空装置に使用され、生産性向上に貢献しています。
石油系ロータリーポンプ油
ロータリーポンプの真空油は、潤滑と気密維持の目的に使用されます。低い蒸気圧、適正な粘度、乳化しにくい性質(抗乳化性）すなわち、水と容易に分離し水を除去し易い性質が重要です。
合成系ロータリーポンプ油
石油系ロータリーポンプ油を超える耐熱・耐酸化性を発揮します。電子工業、理化学機器工業、原子力工業などをはじめとして、使用環境の厳しい特殊用途に適しています。
| 商品名 | 特長・用途 | 動粘度 mm2/s(40℃) |
引火点(℃) |
色 |
蒸気圧50℃ |
製品 案内 |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|
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ﾈｵﾊﾞｯｸ |
SO－M |
耐熱・耐酸化性にすぐれてます |
63.7 | 254 | L0.5 | 4X10-4以下 (3X10-6） |
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| SO－H |
SO-Mの高粘度品
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95.0 | 285 | L0.5 | 4X10-5以下 (3X10-7） |
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| SA－L |
SA-Mの低粘度品。
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30.0 | 240 | L0.5 | 4X10-4以下 (3X10-6） |
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| SA－M |
SO-Mの酸化安定性向上品。
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65.0 | 260 | L1.0 | 4X10-4以下 (3X10-6） |
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| SA－H |
SO-Hの酸化安定性向上品。
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95.0 | 285 | L1.0 | 4X10-5以下 (3X10-7） |
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特殊系ロータリーポンプ油
微粉末や反応生成物が混入しても、オイル粘度の増大が抑制でき、オイル交換の頻度を少なくできます。
半導体製造工程に適応する特殊な真空ポンプ油です。
| 商品名 | 特長・用途 | 動粘度 mm2/s(40℃) |
引火点(℃) |
色(ASTM) |
蒸気圧50℃ |
製品 案内 |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|
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ﾈｵﾊﾞｯｸ |
DR－M |
減圧CVD用。優れた増粘抑制効果を示します。 |
68.3 | 234 | L4.0 | 1.3X10-3以下(1X10-5） | |
| SA | 環境測定機器用。耐熱・耐酸化性に優れます。 | 38.2 | 250 | 3.5 | 6.5X10-2以下(5X10-4） | |
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油拡散ポンプ油
拡散ポンプの真空油は分子状態または蒸気として噴射し、真空状態を得るために使用されます。低い蒸気圧、熱によって変質しないこと(耐熱性）や酸素と反応しにくい性質(耐酸化性）など化学的に安定であることが要求されます。
| 商品名 | 用途 | 到達 圧力 Pa(Torr) |
引火点(℃) |
平均 |
蒸気圧25℃ |
製品 案内 |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|
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SX |
表面処理装置用 |
1.3X10-5以下 (1X10-7) |
235 | 約394 |
7X10-6以下 |
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| SY |
表面処理装置用
(蒸着・ｽﾊﾟｯﾀｰ・熱処理） |
6.6X10-6以下 (5X10-8) |
250 | 約422 | 1X10-6以下 (1X10-8） |
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ﾓﾚｽｺ |
54 |
電子顕微鏡、質量分析装置
などの精密分析装置 |
1.3X10-8以下 (1X10-10） |
300 | 約446 |
7X10-9以下 |
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ブースター・エゼクターポンプ油
ブースター・エゼクターポンプは、油拡散ポンプと同様に蒸気噴射型ポンプの一種で、油を蒸気噴射させるために使用します。蒸気圧が低く、排気速度が大きいこと。そして耐熱・耐酸化安定性の高い真空油が求められます。
| 商品名 | 特長・用途 | 動粘度 mm2/s(40℃) |
引火点(℃) |
平均 |
蒸気圧25℃Pa(Torr) |
製品 案内 |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|
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ME－250 |
表面処理装置用 |
14.0 | 188 | 260～270 | 1.3X10-2以下(1X10-4） | |
| ME－300 |
表面処理装置用
(蒸着・ｽﾊﾟｯﾀｰ・熱処理） |
17.0 | 200 | 300～310 | 1.3X10-3以下(1X10-5） | |
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| DB－12 |
表面処理装置用
(蒸着・ｽﾊﾟｯﾀｰ） |
22.0 | 212 | 330～340 | 6.7X10-4以下(5X10-6） | |
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メカニカルブースターポンプ油
車のエンジンに付いているターボチャージャーのように流速を上げるポンプです。メカニカルブースターは軸受け部の潤滑と気密保持に真空油が使われます。蒸気圧が低く、潤滑性にすぐれ、耐熱性、耐酸化性などの化学安定性が要求されます。
| 商品名 | 特長・用途 | 動粘度 mm2/s(40℃) |
引火点(℃) |
色(ASTM) |
蒸気圧50℃ |
製品 |
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ﾈｵﾊﾞｯｸ |
EP－83 |
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟのｷﾞｱ部潤滑油としてすぐれた性能を発揮します。 |
83.0 | 250 | L1.0 | 1.3X10-3以下(1X10-5） | |
センターバルブ油
センターバルブは、管球製造装置の回転部として、センターバルブ油は、その摺動面の潤滑と気密保持のために使用します。蒸気圧が低く、潤滑性にすぐれ、耐熱性、耐酸化性などの化学安定性が要求されます。
| 商品名 |
動粘度 |
引火点(℃) | 色 (ASTM) |
蒸気圧25℃ |
製品 案内 |
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|---|---|---|---|---|---|---|
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MC－400 |
156.6 |
290 |
L2.5 | 1.3X10-4以下(1X10-6） | |
| MC－600 |
256.2
|
298 |
L4.0 | 1.3X10-4以下(1X10-6） | |
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| MC－1000 |
411
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308 |
L4.0 | 1.3X10-4以下(1X10-6） | |
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真空グリース
蒸気圧が低く、使用温度範囲が広い真空系のシール兼潤滑剤としてすぐれた性能を発揮
| 商品名 | 使用温度範囲 | 外観 | 稠度 |
蒸気圧25℃Pa(Torr) |
製品 案内 |
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|---|---|---|---|---|---|---|
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ﾈｵﾊﾞｯｸ |
ｸﾞﾘｰｽ |
25～100 |
白色半透明ｸﾞﾘｰｽ状 | 250 | 1.0X10-3以下(1X10-5） | |
