高真空ポンプ油

高真空を作り出す、高性能の油

「ネオバック」は高真空ポンプ油の代名詞として広く親しまれ、性能への信頼性の高さから多くの真空ポンプメーカーより使用油の推奨を受けています。 半導体やシリコンウエハ、蒸着、熱処理、包装などの真空装置に使用され、生産性向上に貢献しています。

高真空ポンプ油【ネオバック/NEOVAC】の模倣品に対するご注意

 
 

石油系ロータリーポンプ油

ロータリーポンプの真空油は、潤滑と気密維持の目的に使用されます。低い蒸気圧、適正な粘度、乳化しにくい性質(抗乳化性)すなわち、水と容易に分離し水を除去し易い性質が重要です。

製品一覧

ネオバック

型番 動粘度 mm2/s (40℃) 引火点 ℃ 特長・用途 色 (ASTM) 蒸気圧 Pa(Torr) (50℃) 製品案内
MR-100 44 230 小型ポンプ用の標準品 L0.5 1.3X10-2以下(1X10-4) リンク
MR-200 71 256 全ての回転式ポンプに適用する標準品 L0.5 1.3X10-3以下(1X10-5) リンク
MR-250 105 270 大型ポンプ用の標準品 0.5 1.3X10-3以下(1X10-5) リンク
ST-200 76 252 スラッジ分散性・耐熱・酸化性向上品(水分吸引非対応) L2.0 1.3X10-2以下(1X10-4) リンク
MR-200A 71 252 MR-200の耐熱・酸化性向上品、水分吸引対応品 L0.5 1.3X10-3以下(1X10-5) リンク
MR-250A 105 270 MR-250の耐熱・酸化性向上品、水分吸引対応品(大型ポンプ用) L0.5 1.3X10-3以下(1X10-5) リンク

合成系ロータリーポンプ油

石油系ロータリーポンプ油を超える耐熱・耐酸化性を発揮します。電子工業、理化学機器工業、原子力工業などをはじめとして、使用環境の厳しい特殊用途に適しています。

製品一覧

ネオバック

型番 動粘度 mm2/s (40℃) 引火点 ℃ 特長・用途 色 (ASTM) 蒸気圧 Pa(Torr) (50℃) 製品案内
SO-M 64 264 耐熱・耐酸化性に優れてます L0.5 4X10-4以下(3X10-6) リンク
SO-H 95 285 SO-Mの高粘度品 L0.5 4X10-5以下(3X10-7) リンク
SA-L 32 240 SA-Mの低粘度品。 L0.5 4X10-4以下(3X10-6) リンク
SA-M 64 260 SO-Mの酸化安定性向上品。 L0.5 4X10-4以下(3X10-6) リンク
SA-H 95 280 SO-Hの酸化安定性向上品。 L0.5 4X10-5以下(3X10-7) リンク

特殊系ロータリーポンプ油

微粉末や反応生成物が混入しても、オイル粘度の増大が抑制でき、オイル交換の頻度を少なくできます。 半導体製造工程に適応する特殊な真空ポンプ油です。

製品一覧

ネオバック

型番 動粘度 mm2/s (40℃) 引火点 ℃ 特長・用途 色 (ASTM) 蒸気圧 Pa(Torr) (50℃) 製品案内
DR-M 70 234 減圧CVD用。優れた増粘抑制効果を示します。 L1.5 1.3X10-2以下(1X10-4) リンク
SA 38 254 環境測定機器用。耐熱・耐酸化性に優れます。 L2.5 6.5X10-2以下(5X10-4) リンク

油拡散ポンプ

拡散ポンプの真空油は分子状態または蒸気として噴射し、真空状態を得るために使用されます。低い蒸気圧、熱によって変質しないこと(耐熱性)や酸素と反応しにくい性質(耐酸化性)など化学的に安定であることが要求されます。

製品一覧

ネオバック

型番 動粘度 mm2/s (40℃) 平均分子量 引火点 ℃ 特長・用途 蒸気圧 Pa(Torr) (25℃) 到達圧力 Pa(Torr) 製品案内
SX 22 約394 235 表面処理装置用(蒸着・スパッター・熱処理) 7X10-6以下(5X10-8) 1.3X10-5以下(1X10-7) リンク
SY 26 約422 240 表面処理装置用(蒸着・スパッター・熱処理) 1.3X10-6以下(1X10-8) 6.6X10-6以下(5X10-8) リンク

モレスコエクセロール

型番 動粘度 mm2/s (40℃) 平均分子量 引火点 ℃ 特長・用途 蒸気圧 Pa(Torr) (25℃) 到達圧力 Pa(Torr) 製品案内
54 290 約446 300 電子顕微鏡、質量分析装置などの精密分析装置用 7X10-9以下(5X10-11) 1.3X10-8以下(1X10-10) リンク

ブースター・エゼクターポンプ油

ブースター・エゼクターポンプは、油拡散ポンプと同様に蒸気噴射型ポンプの一種で、油を蒸気噴射させるために使用します。蒸気圧が低く、排気速度が大きいこと。そして耐熱・耐酸化安定性の高い真空油が求められます。

製品一覧

ネオバック

型番 動粘度 mm2/s (40℃) 平均分子量 引火点 ℃ 特長・用途 蒸気圧 Pa(Torr) (25℃) 到達圧力 Pa(Torr) 製品案内
ME-250 13 260~270 188 表面処理装置用(蒸着・スパッター・熱処理) 1.3X10-2以下(1X10-4) リンク
DB-12 24 330~340 212 表面処理装置用(蒸着・スパッター) 6.7X10-4以下(5X10-6) リンク

メカニカルブースターポンプ油

車のエンジンに付いているターボチャージャーのように流速を上げるポンプです。メカニカルブースターは軸受け部の潤滑と気密保持に真空油が使われます。蒸気圧が低く、潤滑性にすぐれ、耐熱性、耐酸化性などの化学安定性が要求されます。

製品一覧

ネオバック

型番 動粘度 mm2/s (40℃) 引火点 ℃ 特長・用途 色 (ASTM) 蒸気圧 Pa(Torr) (50℃) 製品案内
EP-83 84 260 メカニカルブースターポンプのギア部潤滑油として優れた性能を発揮します。 L1.0 1.3X10-3以下(1X10-5) リンク

センターバルブ油

センターバルブは、管球製造装置の回転部として、センターバルブ油は、その摺動面の潤滑と気密保持のために使用します。蒸気圧が低く、潤滑性にすぐれ、耐熱性、耐酸化性などの化学安定性が要求されます。

製品一覧

ネオバック

型番 動粘度 mm2/s (40℃) 平均分子量 引火点 ℃ 特長・用途 蒸気圧 Pa(Torr) (25℃) 到達圧力 Pa(Torr) 製品案内
MC-400 160 280 蛍光灯・管球製造装置のセンターバルブ潤滑用 1.3X10-4以下(1X10-6) リンク
MC-600 250 298 蛍光灯・管球製造装置のセンターバルブ潤滑用 1.3X10-4以下(1X10-6) リンク
MC-1000 430 320 蛍光灯・管球製造装置のセンターバルブ潤滑用 1.3X10-4以下(1X10-6) リンク

真空グリース

蒸気圧が低く、使用温度範囲が広い真空系のシール兼潤滑剤としてすぐれた性能を発揮。

製品一覧

ネオバック

型番 外観 ちょう度 (25℃) 特長・用途 使用温度 蒸気圧 Pa(Torr) (25℃) 製品案内
グリース 白色半透明グリース状 280 各種真空装置のシール用グリース 25~100 1.0X10-3以下(1X10-5) リンク