ガス・水蒸気透過度測定装置 装置詳細

MA法による測定の迅速化

MA法は、水蒸気やガスのQMSにつながる空間と
測定試料の間に支持体の層を設けたところに
特徴があります。

 

支持体はQMS側空間へのガスの流入を遅延させる
効果があるため、試料交換時の検出器側空間の汚染を
防ぐことができます。その結果、QMS側の空間は
常に高い真空度が維持され、前処理の時間を短縮、
或いは省略することができます。

 

104g/m2/dayレベルの水蒸気透過度をもつバリアフィルムの測定において、測定時間を従来比で1/5になった例もあります。
(評価事例①参照)

 

試料室を約90秒間大気開放したのち、約24時間測定しました。大気成分である水、窒素、酸素は検出されなかったことから、QMS側空間はクリーンな環境が維持されている事がわかります。

 
 
 
 
 
 

試料ダメージの低減

右図は測定後の試料写真です。
支持体が緩衝となるため、従来法の差圧法の課題で

あった測定時の試料へのダメージも低減できます。

 
 
 

真空度を維持した試料交換が可能

 
①試料交換②透過セル内の真空排気③試験開始

試料ダメージの低減

QMSは様々なガスを高感度に定量できる検出器ですが、ガス種に
よって感度が大きく異なります。また、使用履歴や 環境によって、
感度が変化することもあり、定期的な校正が必要です。

 

当装置は、SIトレーサブルが可能な標準コンダクタンスエレメント
(SCE)を使用した校正機構を内蔵しているため、簡単に校正が
可能です。

 

校正時は右図のようにSCEを通して、校正ガス(ユーザ任意のガス、
または水蒸気)を検出器に 導入します。供給側の圧力変化に対する、
QMSの出力をプロットすることで、検量線を取得できます。

 
 
 
 
 

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