製品情報

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ガス・水蒸気
透過度測定装置

迅速測定、世界最高クラスの感度、
SIトレーサブルを実現

本装置は迅速・高感度かつ高精度で、フィルムのガスバリア性が測定可能な装置です。高水蒸気バリア性が
求められる有機デバイスや太陽電池のみならず、酸化による品質劣化を防ぐために酸素バリア性が重要な
食品・医薬品包装分野など、さまざまな分野での研究開発や品質管理に貢献します。

サッカーグラウンド10面と同じ面積のサンプル(フィルム)に、一日あたり1滴の水を落ちたことに
相当する10-7g/m2/dayレベルの水蒸気透過度を検出できます。また、新規に開発した測定法により
測定時間を大幅に短縮し、公的機関の校正器を用いることにより、国家標準にトレーサブルな定量
測定が可能です。

国内・国際の学会や展示会で広くPRし、国際標準を進めており、現在、ディスプレイやデバイス
メーカー、公的機関など国内、海外(特に中国)へ多数の販売実績があります。

有機デバイスや太陽電池分野、食品・包装分野に用いられるバリアフィルムやシート以外にも半導体や
セミコンダクタ分野のセラミックス、容器・包材分野のガラス、電子部品分野の金属など豊富な測定実績が
あります。

POINT. 01

独自の手法(MA法)による迅速測定

Modified differential pressure method with an Attached support method

国立研究開発法人 産業技術総合研究所と共同で開発したフィルムのガス・水蒸気透過度を
測定する新しい手法です(特許出願済)。
測定試料と検出器の間に設けた「支持体層」が、測定時の差圧による試料へのダメージを
低減し、さらに測定時間の短縮に寄与します。

国立研究開発法人 産業技術総合研究所 プレスリリース
測定に必要な時間を短縮する新たなガス・水蒸気透過率測定装置を開発

POINT. 02

高感度検出器、
多種類のガス透過度測定も可能

検出器に、四重極質量分析計(QMS)を採用しており、水蒸気透過度換算で10-7g/m2/day
レベルに相当する微量な水分の検出が可能です。また水蒸気以外にも様々なガスの定量が
可能です。

POINT. 03

トレーサビリティが確保された
絶対値測定

国立研究開発法人産業技術総合研究所が開発した標準コンダクタンスエレメント(SCE)を
用いることで、QMSを国家標準にトレーサブルに校正することができます。
標準コンダクタンスエレメントとは気体の流れやすさ(コンダクタンス)が校正された
エレメントです。
国際規格ISO/TS 20175:2018において、典型的なQMSの“その場”校正法の一つとして、
本技術は採用されています。

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