高真空ポンプ油
「ネオバック」は高真空ポンプ油の代名詞として広く親しまれ、性能への信頼性の高さから多くの真空ポンプメーカーより使用油の推奨を受けています。半導体やシリコンウエハ、蒸着、熱処理、包装などの真空装置に使用され、生産性向上に貢献しています。
環境に配慮したPFASフリー合成系真空油「ネオバックＳ」シリーズもございますので、お問い合わせください。
石油系ロータリーポンプ油
ロータリーポンプの真空油は、潤滑と気密維持の目的に使用されます。低い蒸気圧、適正な粘度、乳化しにくい性質(抗乳化性）すなわち、水と容易に分離し水を除去し易い性質が重要です。
| 型番 | 動粘度 mm2/s (40℃) |
引火点 | 色 (ASTM) |
蒸気圧 Pa(Torr) (50℃) |
特長・用途 | 製品案内 （PDF） |
|---|---|---|---|---|---|---|
| MR-100 | 44 | 230 | L0.5 | 1.3X10-2以下(1X10-4） | 小型ポンプ用の標準品 |  |
| MR-200 | 71 | 256 | L0.5 | 1.3X10-3以下(1X10-5） | 全ての回転式ポンプに適用する標準品 | |
| MR-250 | 105 | 270 | 0.5 | 1.3X10-3以下(1X10-5） | 大型ポンプ用の標準品 | |
| ST-200 | 76 | 252 | L2.0 | 1.3X10-2以下(1X10-4） | スラッジ分散性・耐熱・酸化性向上品（水分吸引非対応） | |
| MR-200A | 71 | 252 | L0.5 | 1.3X10-3以下(1X10-5） | MR-200の耐熱・酸化性向上品、水分吸引対応品 | |
| MR-250A | 105 | 270 | L0.5 | 1.3X10-3以下(1X10-5） | MR-250の耐熱・酸化性向上品、水分吸引対応品(大型ポンプ用） | |
合成系ロータリーポンプ油
石油系ロータリーポンプ油を超える耐熱・耐酸化性を発揮します。電子工業、理化学機器工業、原子力工業などをはじめとして、使用環境の厳しい特殊用途に適しています。環境にやさしいPFASフリー合成系真空油です。詳細につきましてはお問い合わせください。
| 型番 | 動粘度 mm2/s (40℃) |
引火点 | 色 (ASTM) |
蒸気圧 Pa(Torr) (50℃) |
特長・用途 | 製品案内 （PDF） |
|---|---|---|---|---|---|---|
| SO-M | 64 | 264 | L0.5 | 4X10-4以下(3X10-6） | 耐反応ガス性に優れています。 | |
| SO-H | 95 | 285 | L0.5 | 4X10-5以下(3X10-7） | SO-Mの高粘度品（大型ポンプ用） | |
| SA-L | 32 | 240 | L0.5 | 4X10-4以下(3X10-6） | SA-Mの低粘度品（小型ポンプ用） | |
| SA-M | 64 | 260 | L0.5 | 4X10-4以下(3X10-6） | SO-Mの酸化安定性向上品 | |
| SA-H | 95 | 280 | L0.5 | 4X10-5以下(3X10-7） | SO-Hの酸化安定性向上品（大型ポンプ用） | |
特殊系ロータリーポンプ油
微粉末や反応生成物が混入しても、オイル粘度の増大が抑制でき、オイル交換の頻度を少なくできます。半導体製造工程に適応する特殊な真空ポンプ油です。
拡散ポンプ油
拡散ポンプの真空油は分子状態または蒸気として噴射し、真空状態を得るために使用されます。低い蒸気圧、熱によって変質しないこと(耐熱性）や酸素と反応しにくい性質(耐酸化性）など化学的に安定であることが要求されます。
| 型番 | 動粘度 mm2/s (40℃) |
平均分子量 | 引火点 | 蒸気圧 Pa(Torr) (50℃) |
到達圧力 Pa(Torr) |
特長・用途 | 製品案内 （PDF） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SX | 22 | 約394 | 235 | 7X10-6以下(5X10-8） | 1.3X10-5以下(1X10-7) | 表面処理装置用(蒸着・スパッター・熱処理） | |
| SY | 26 | 約422 | 240 | 1.3X10-6以下(1X10-8） | 6.6X10-6以下(5X10-8) | 表面処理装置用(蒸着・スパッター・熱処理） | |
エジェクターポンプ油
ブースター・エゼクターポンプは、油拡散ポンプと同様に蒸気噴射型ポンプの一種で、油を蒸気噴射させるために使用します。蒸気圧が低く、排気速度が大きいこと。そして耐熱・耐酸化安定性の高い真空油が求められます。
メカニカルブースターポンプ油
車のエンジンに付いているターボチャージャーのように流速を上げるポンプです。メカニカルブースターは軸受け部の潤滑と気密保持に真空油が使われます。蒸気圧が低く、潤滑性にすぐれ、耐熱性、耐酸化性などの化学安定性が要求されます。
センターバルブ油
センターバルブは、管球製造装置の回転部として、センターバルブ油は、その摺動面の潤滑と気密保持のために使用します。蒸気圧が低く、潤滑性にすぐれ、耐熱性、耐酸化性などの化学安定性が要求されます。
